Yarıiletken üretimi ultra - kesin, korozyon - dirençli kanallar talep eder:
Boyutsal Hassasiyet:
Sıkı toleranslı (± 0.1mm) 316L paslanmaz çelik kanallar (ASTM A276), 5nm çip üretimi için kritik olan gofret rafları için 0.5 mm boşluk tutar. Tayvan TSMC, parçacık tuzağını önlemek için 80 × 40 × 5mm boyutlarına sahip U - kanalları kullanır.
Kimyasal Direnç:
% 2.5 molibden içeriğine sahip kanallar hidroflorik asit (HF) maruziyetine dayanır, kalıcı 1, 000+ temizleme döngülerini çukurlamadan temizler. Güney Kore'den Samsung bunları 300 mm gofretli fablarında kullanıyor ve ekipman değiştirmeyi%70 azaltır.
Yüzey kaplaması:
Electro - cilalı kanallar (RA 0.02μm'ye eşit veya eşit), yarı F20 sınıf 1 standartlarını karşılayarak partikül yapışmasını en aza indirin. Japonya'nın Tokyo Electron, bu kritik gereksinim için JIS G4305 SUS316 kanallarını belirtir.
Bölgesel Evlat Edinme:
ABD yarı iletken bitkileri 6mm minimum kalınlığa sahip ASTM A479 kanalları kullanırken, Çin'in SMIC'si - hassas 28NM işlemleri maliyeti için GB/T1220 06 CR17ni12MO2 kanallarını tercih ediyor.